热力法不仅可以去除水中溶解的氧，而且可以去除水中其它各种溶解气体。在热力法除氧的过程中，有可能会使水中的重碳酸根发生分解。

温度越高，加热的时间就会越长，加热蒸汽中游离的二氧化碳浓度就会越低，那么重碳酸根的分解率就会越高，因此出水的pH值也会越高。

热力法除氧主要是在除氧器内用蒸汽使水加热加热除氧器的结构除氧器的结构主要应能使水和汽在除氧器内分布均匀、流动畅通以及水、汽之间有足够的接触时间。在除氧的过程中，水应加热至沸点，否则水中残留的氧量就会增大。另外热力学除氧対解吸出来的气体应能畅通的排走，否则气相中残留的氧量会比较多，会对水中氧的扩散速度产生影响，使水中残留含氧量增大。